光、电、磁薄膜研究
 
薄膜与传感器研究室主要从事光、电、磁等功能薄膜材料的开发以及材料成分、制备工艺等对材料特性影响的研究工作，以直流或射频磁控溅射、化学镀、溶胶－凝胶制膜工艺为主要手段制备功能薄膜材料，辅以磁场真空热处理、光刻加工、微组装工艺，进行磁敏感器件或传感器及配套仪表等国内功能薄膜实用产品的产业化开发工作。
    
 
 
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